本发明提供了一种利用惰性气体产生大直径均匀等离子体羽的装置及方法。该装置利用针电极、介质管及平板电极组成喷枪结构，通过在针电极上施加高压交流电压，在介质管敞口端的开放环境产生非均匀丝状等离子体羽，之后逐渐增加在平板电极上施加的高压正直流电压，使得非均匀丝状等离子体羽转变为均匀等离子体羽。在本发明实施例中所产生的均匀等离子体羽最大直径为20mm，大于现有大多数在惰性气体中产生的大气压等离子体羽的直径，且不需要添加其他气体，提高了处理速率和效率，适宜大规模工业应用，在表面处理、废水净化、杀菌消毒、元素探测、飞行器减阻、航空器隐身等领域具有深远的意义。